光散射检测仪原理是光射向颗粒物时，颗粒物能够吸收和散射光，使光偏离它的入射路径。散射光的强度与观测角，颗粒物的粒径，颗粒物的折射率和形状，以及入射光的波长有关。光散射分析仪是在于设定偏离入光射的一定角度测量散射光的强度。向所有方向散射光的强度与颗粒物的粒径分布和形状有关。同样，水滴对仪器测量也有影响，也需要用手工比对的方法对仪器进行校准。

测量烟气污染物排放必须测量氧气实际浓度，以便能够将排放浓度折算。氧的测量方法主要有：氧化锆分析仪、顺磁氧分析仪、化学电池。

氧化锆氧量分析仪通常有直接测量法，即测量探头在烟道中。还有烟道抽取式，即采样探头插入烟道，测量池安装在烟道上离烟道一定距离的分析一中（需要样品输送管路）。

氧化锆分析仪测量O2依据的原理：在电解质中，由于化学电位不同，电流将在电解质或含有不同浓度的化合物种类的气体之间流动。典型的测量池中，ZrO2作为电解质和高温催化剂，产生氧离子。池的两侧，焙烧上一层铂，形成烟气一侧的电极和与含有O2参考气体（通常为空气）接触的参考电极。池的温度必须加热到约600℃。

化学电池原理测量氧含量是利用电化学燃料电池产生的电流正比于样品中的含氧量。电化学染料电池的交叉敏感性小，传感器的使用寿命大约6~18个月，平均寿命12个月。一般情况下该类型的传感器用于便携式氧分析仪，是理想的便携式仪器。目前已经将O2电化学燃料传感器用于烟气在线监测系统，和前述仪器组成连续分析仪。